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行业资讯

MEMS压力传感器

2017-03-21

MEMS压力传感器是一种薄膜元件,受到压力时变形。可以利用应变仪(压阻型感测)来测量这种形变,也可以通过电容感测两个面之间距离的变化来加以测量。这两种方法都很流行,轮胎压力监测系统使用比较结实的压阻方法。

1.应用于汽车行业

MEMS压力传感器在汽车中的一个新应用是传动系统压力感测,通常用于自动装置之中,但也用于新型双离合器传动系统。德国厂商推出了一款MEMS解决方案,使用油来保护硅薄膜,使其可以最高耐受70巴的压力。博世几年前也曾为MEMS压力传感器带来巨大变化,当时使用的是多孔硅,带来了高度可靠的MEMS器件,这些器件已用于目前的侧面气囊等应用之中。


2.应用于医疗市场

压力传感器主要充当外科手术使用的一次性低成本导管。但它们也用于昂贵的设备之中,在连续气道正压通气(CPAC)机中感测压力与差流。